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PHS樹脂產(chǎn)品介紹
PHS樹脂
一、產(chǎn)品性能與用途
PHS樹脂是一種用于深紫外光刻膠的高性能感光樹脂,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體芯片制造中的光刻工藝環(huán)節(jié)。其核心性能包括高純度、高分辨率、優(yōu)異的熱穩(wěn)定性和化學(xué)穩(wěn)定性,能夠滿足半導(dǎo)體制造對高精度、高可靠性的嚴(yán)苛要求,有效提升光刻膠在芯片圖案化過程中的成像質(zhì)量和工藝穩(wěn)定性。此外,還可用于電子封裝材料、涂料和粘合劑等領(lǐng)域。
二、技術(shù)指標(biāo)
| 檢測項目 | 指標(biāo)-1 | 指標(biāo)-2 |
| 外觀 | 淡黃色透明液體 | 淡黃色透明液體 |
| 固含量/% | ≥35.0 | ≥35.0 |
| 重均分子量(Mw) | 10000±2000 | 14000±1000 |
| 分子量分布寬度(PD) | ≤1.55 | ≤1.25 |
| 單金屬離子含量/ppb | <10 | <10 |
注:可根據(jù)客戶要求定制不同結(jié)構(gòu)、分子量、金雜含量的產(chǎn)品。
三、包裝與貯存
包裝:采用電子級塑料桶包裝,每桶重量1kg、2kg、5kg、10kg或20kg?筛鶕(jù)客戶需求定制。貯存:陰涼處儲存,避免陽光直射,遠(yuǎn)離熱源,貯存期12個月。
四、安全防護
操作時注意勞動保護,應(yīng)避免與皮膚、眼睛等直接接觸,接觸后用大量清水沖洗。
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